電子ビームを用いた世界最小の地球儀（ナノグローブ）の作製 電子ビームリソグラフィを用いた3次元ナノ加工技術を実現し、そのデモンストレーションとして世界最小の地球儀を作製しました。球状の試料を回転させ、電子ビームで地図のパターンを描きました。最小線幅は約10nmで、地球上の2kmに相当します。従来の、光やX線を用いた3次元加工法に比べ、一気に数十倍の解像度の向上ができました。 【目次へもどる】 【次ページ】
電子ビームリソグラフィを用いた3次元ナノ加工技術を実現し、そのデモンストレーションとして世界最小の地球儀を作製しました。球状の試料を回転させ、電子ビームで地図のパターンを描きました。最小線幅は約10nmで、地球上の2kmに相当します。従来の、光やX線を用いた3次元加工法に比べ、一気に数十倍の解像度の向上ができました。
