2001年3月31日現在
（*は年度途中までの在籍者）
（*は年度途中までの在籍者）
先端デバイス研究部
 |
|
| Ｓｉナノデバイス研究Ｇ グループリーダ |
高橋庸夫 猪川 洋 堀口誠二 植松真司 小野行徳 *白石賢二 藤原 聡
|
| ナノ加工研究Ｇ グループリーダ |
生津英夫 *斎藤虎夫 永瀬雅夫 林 順三 山口 徹 山崎謙治 渡辺義雄 神崎賢一
|
| 表面構造制御研究Ｇ グループリーダ |
荻野俊郎 小林慶裕 本間芳和 渡辺義夫 川村朋晃 Kuniyil, Prabhakaran 住友弘二 日比野浩樹 前田文彦 尾身博雄 鈴木 哲 Nath, Krishna Gopal *Finnie, Paul Bottomley, David Lin, Feng |