マイクロ・ナノメカニカル素子に代表される3次元微細構造体を作製するための究極的加工技術、並びに作製した構造を用いた革新的素子の実現を目指した研究を進めています。
マイクロ・ナノメカニカル構造を、超高感度のセンシングシステムや超低消費電力のロジックシステムなどへ応用する研究を進めています。具体的には、化合物半導体のヘテロ構造を用いて作製したマイクロ・ナノメカニカル構造により、圧電効果や光との相互作用を用いた新しい機能の出現を目指しており、最近ではパラメトリック共振器を用いたロジックシステムの提案や、光によるキャリア励起を応用した振動特性の制御などで優れた成果が得られています。また、マイクロ・ナノメカニカル構造を、材料評価手法に応用する研究も進めており、次世代のエレクトロニクス材料として注目されるグラフェンのナノスケール導電率評価などにも成功しています。さらに、このような3次元構造体を作製するための新しいナノリソグラフィーの研究も進めています。具体的には、三次元電子ビーム露光法の開発や、ブロックコポリマーを用いた新しいリソグラフィー手法の提案を行っています。