ナノ計測技術

ナノテクノロジー応用ナノ計測技術

**ナノ計測基盤技術**
AFM用標準試料 (Standard sample for AFM)	AFM測長技術 (AFM CD)	透視SEM ("See-through" SEM)

**ナノ計測技術によるナノデバイス構造解析**
PADOX応用単電子トランジスタ (SET fabricated by PADOX)	単電子トランジスタ構造 (Structure of SET)	単電子トランジスタ動作機構 (Model of SET)

**ナノテクノロジー応用ナノツール**
FIB加工ナノ四探針プローブ (Nano-four-point probes fabricated by FIB milling)	FIB応用ナノデバイス集積化技術 (Nano-device integration using FIB technology)	ナノスプリング付DLCプローブ (DLC probe with nano-spring)

AFM: Atomic Force Microscopy
CD: Critical Dimension measurement
SEM: Scanning Electron Microscopy
PADOX: PAttern Dependent OXidation
SET: Single Electron Transistor
FIB: Focused Ion Beam
DLC: Diamond-like carbon

Last modified:2005/5/9

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