ナノテクノロジーのための走査電子顕微鏡

表面分析技術選書
ナノテクノロジーのための走査電子顕微鏡
日本表面科学会　編
発行元：丸善(株)出版事業部

【本体価格】3,600円
【判型・フォーマット】Ａ５
【ページ数・時間】196ページ
【ISBNコード】4-621-07361-3
【発行年月】2004年02月

※上記書籍の一部（４・１　半導体ナノ構造の観察）の執筆を担当しました。

関連文献：	"Nanometrology of Si nanostructures embedded in SiO2 using scanning electron microscopy": M. Nagase, A. Fujiwara, K. Kurihara and H. Namatsu, Jpn. J. Appl. Phys. 42 (2003) 318-325. link "Imaging of Si nano-patterns embedded in SiO2 using scanning electron microscopy": M. Nagase and K. Kurihara, Microelectron. Eng. 53 (2000) 257-260. link
関連トピックス：	"Imaging of Si nano-patterns embedded in silicon oxide using scanning electron microscopy "
関連サイト：	丸善 [http://pub.maruzen.co.jp/]サイト内の本書の紹介ページ

Last modified:2004/3/10