コースB:「究極の半導体」を創る(クリーンルーム見学)
担当グループ:薄膜材料研究グループ
所要時間:約45分
概略

イヤモンドや窒化物半導体はワイドギャップ半導体と呼ばれ、現在の半導体を遥かに越える特性を示すため、新規デバイス材料として期待を集めています。本ツアーでは、これらワイドギャップ半導体の研究現場であるクリーンルームをご案内し、そこで使用されている様々な装置-高精度結晶成長装置、デバイス作製装置、デバイス評価装置をご覧頂きます。また、ダイヤモンド高周波電力トランジスターや世界最短波長の窒化アルミニウム発光ダイオードに関して説明を行います。