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特徴

• 原子変位の定量解析：高精度（サブオングストロームオーダー）　
  　　　 Double Alignemnt: Channeling and Blocking
• 高エネルギー分解能 (静電型エネルギー分析器)　
  　　　 深さ分解能：オングストロームオーダー　
  　　　 質量分解能：GaAs表面のGaとAsピークの分離
• 埋もれた界面構造の解析が可能

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Angle Resolved Ion Detection in MEIS　

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標準的な測定条件

• プローブイオン: proton and Helium
• 入射エネルギー: ５０〜３５０keV
• 静電型エネルギー分析器： 340 eV resolution for 100 keV proton
• 検出器：位置感応型マイクロチャンネルプレート (angle resolution: 0.1 deg.)

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