1996 Annual Report of Ogino Group

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Topics:

• 中速イオン散乱の新手法によるSi(100)上ダイマー構造の解析
• Si/Ge多層膜への酸素イオン注入による多重埋込酸化膜の形成
• 赤外外部反射分光法によるSi(001)上Si-H表面振動観察