NTT物性科学基礎研究所

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2003年01月01日

電子ビームリソグラフィによる3次元ナノ加工技術を実現

~解像度100倍で世界最小の地球儀(ナノグローブ)を作製~

NTT物性科学基礎研究所は、世界最高のナノ(1ナノは10億分の1)レベルで試料を3次元加工できる電子ビーム(EB)リソグラフィシステムの開発に成功しました。3次元のパターン形成や加工技術のデモンストレーションとして、球体試料にEBで描画した世界最小の地球儀(ナノグローブ)を作製しました。この技術は、近い将来、広範な産業の糧となると期待されているナノテクノロジの中で、様々な応用へと展開できる重要な基盤技術になると考えております。

ニュースリリース
ナノ加工研究グループ

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