Semiconductor Nanostructures Research in Low-Dimensional Nanomaterials Research Group
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Review:
- 半導体ナノスケール薄膜の歪解析
シリコン・オン・インシュレータ(SOI)基板上のシリコンナノ薄膜は次
世代の半導体材料として全世界で盛んに研究が進められています.本稿では,
シリコンナノ薄膜に存在する微小な歪みの分布を解析する方法と歪み分布の
ない均質なシリコンナノ薄膜を絶縁膜上に形成する技術を紹介します.
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