微細な機械構造素子を用いることにより初めて出現する新しい物理現象を探求し、ナノ科学ならびにナノテクノロジーへの展開を進めています。このような微細機械構造は半導体等の機能材料と組み合わせることにより電気的あるいは光学的な制御が可能となり、これにより超高感度のセンサーや機械的信号処理技術への応用技術が拓かれます。

半導体材料により作製した機械共振器においては、圧電効果による光・電気・機械変換が可能になります。この圧電効果を用いて機械振動に対する非線形性を導入することが可能となり、パラメトリック増幅やビームスプリッタ型の相互作用により様々な新しい素子応用の可能性が拓かれます。さらには、圧電効果によりキャリア誘起の光機械相互作用を引き起こすことができ、これにより高効率の光・機械変換が可能となります。また、量子井戸や量子ドットなどの半導体量子構造との融合により、新しいハイブリッド機械素子の研究も進めています。

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